피에조 리니어 액추에이터, 빔 경로를 자동으로 정렬한다

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렌즈, 미러, 셔터, 조리개는 측정 및 의료 기기, 셋업, 레이저 빔 제어 시스템에서 매우 중요한 역할을 한다. 기계 및 광학 부품을 포지셔닝 할 때 좋은 결과를 얻기 위해서는 안정적이고 높은 분해능의 드라이브 뿐만 아니라 공간 절약형 액추에이터도 필요하다.

PiezoMike 리니어 액추에이터는 나노미터 수준의 정확도로 구동되며 실험실 셋업 시 팁/틸트 미러의 수동 나사를 대체한다. PiezoMike의 장점은 다음과 같다.

1. 작고 정밀하다

N-470 PiezoMike는 20nm의 모션 분해능으로 광학 부품을 정밀하게 정렬한다.

2. 강하고 안정적이다

긴 시간 동안 안정성을 유지하며 진동과 충격에 강하다. 100N 이상의 Holding force와 20N의 feed force를 제공한다. 또한 정지 상태에서는 드라이브가 Self-locking되어 전류 소모가 없어 'Set-and-forget' 애플리케이션에 이상적이다.

3. 높은 신뢰성

10억 번의 스텝 구동이 가능한 긴 수명을 가지고 있다. 다운타임이 길어진 후에도 N-470은 안정적인 스타트업을 보장한다.

원리

피에조 액추에이터는 전기 전압이 인가되면 서서히 팽창하고 클로를 회전시킨다. 클로가 나사 주위를 감싸고 있기 때문에 클로가 회전할 때 나사도 회전한다.

피에조 액추에이터가 최대한 팽창되면 빠르게 수축되고 클로가 초기 위치로 돌아간다. 빠르게 수축함에 따라 클로가 나사 주위로 미끄러지지만 나사는 관성 질량으로 인해 초기 위치를 유지한다.

자료 제공: PI(www.pikorea.co.kr)