휴비츠, 산업용 OCT 검사장비 ‘3D ATI-HST’… 눈길

반도체‧디스플레이 검사 애플리케이션 최적화

안광학 의료기기 전문기업 휴비츠가 최근 코엑스에서 개최한 ‘IMID 2021 한국디스플레이산업전시회’에 참가해 PC 내장형 제품인 산업용 3D ATI-HST Series와 초정밀 검사장비용 3D ATI-HMT Series를 선보여 이목을 끌었다.

휴비츠는 이날 OCT 기술에 비전기술이 접목된 3D ATI-HST 0302A를 국내 처음으로 선보였다.

3D ATI-HST 0302A는 OCT기술을 기반으로 개발된 산업용 비파괴 검사 장비다. PC내장형 스마트 단층 스캐너에 최적화된 소프트웨어가 임베디드된 Stand alone 제품이다. OCT에 대물렌즈가 장착된 리볼버 타입으로 3D부터 2D까지 정밀한 검사가 가능하다.

특히 투명한 다층 구조물의 단층촬영을 통한 이물 및 형상 검출, 불투명체의 3D 형상 검출 등에 용이하다. 형상의 경사도가 심한 경우에도 뛰어난 검사 결과를 안정적으로 보장해, 반도체와 디스플레이 산업에서 활용도가 높다.

휴비츠 관계자는 “제품 문의가 많아 산업용 OCT 시장의 수요가 큰 것을 확인했다”며 “혁신적인 광학기술이 적용된 비파괴 3D 측정 솔루션으로 검사 시장을 선도할 것”이라고 밝혔다.